Explore le couplage non linéaire dans un faisceau, la fabrication de l'appareil de couverture, l'actionnement, la détection, la séparation du bruit et le rapport signal-bruit.
Explore les lois d'échelle et les applications de l'électrostatique dans MEMS, couvrant des sujets tels que les condensateurs de plaques parallèles, les actionneurs à fermeture éclair et les gyroscopes MEMS.
Discute des principes de la conception mécanique, en se concentrant sur la transmission du mouvement et de la puissance à travers divers éléments mécaniques.