Séance de cours

MEMS et l'inspection des salles propres

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Description

Cette séance de cours couvre l'inspection et la métrologie des dispositifs MEMS dans des environnements propres, en mettant l'accent sur les techniques de caractérisation optique et électrique, la caractérisation des films minces et les méthodes de mesure avancées telles que SEM, FIB et AFM. Il traite également de l'étude scientifique de la mesure, de l'étalonnage, des normes et de la validation des appareils pour s'assurer qu'ils répondent aux spécifications de conception. L'instructeur donne un aperçu de l'importance de la métrologie pour garantir la fonctionnalité de l'appareil et partage des ressources pour une exploration plus poussée.

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Concepts associés (5)

Microsystème électromécanique

vignette|Un accéléromètre MEMS. vignette|Un capteur de pression MEMS (sur une pièce qui donne l'échelle). Un microsystème électromécanique est un microsystème fabriqué à partir de matériaux semi-conducteurs. Il comprend un ou plusieurs éléments mécaniques et utilise l’électricité comme source d’énergie, en vue de réaliser une fonction de capteur ou d’actionneur, avec au moins une structure présentant des dimensions micrométriques ; la fonction du système étant en partie assurée par la forme de cette structure.

Microscope à force atomique

thumb|350px|Le premier microscope à force atomique du monde, au musée de la Science de Londres. Le microscope à force atomique (AFM pour atomic force microscope) est un type de microscope à sonde locale permettant de visualiser la topographie de la surface d'un échantillon. Inventé en 1985, par Gerd Binnig, Calvin Quate et Christoph Gerber, ce type de microscopie repose essentiellement sur l'analyse d'un objet point par point au moyen d'un balayage via une sonde locale, assimilable à une pointe effilée.

Microscopie électronique à balayage

thumb|right|Premier microscope électronique à balayage par M von Ardenne thumb|right|Microscope électronique à balayage JEOL JSM-6340F thumb|upright=1.5|Principe de fonctionnement du Microscope Électronique à Balayage La microscopie électronique à balayage (MEB) ou scanning electron microscope (SEM) en anglais est une technique de microscopie électronique capable de produire des images en haute résolution de la surface d’un échantillon en utilisant le principe des interactions électrons-matière.

Métrologie

thumb|La barre de platine-iridium utilisée comme prototype du mètre de 1889 à 1960. La métrologie est la science de la mesure. Elle définit les principes et les méthodes permettant de garantir et maintenir la confiance envers les mesures résultant des processus de mesure. Il s'agit d'une science transversale qui s'applique dans tous les domaines où des mesures quantitatives sont effectuées.

Étalon (métrologie)