Bruit thermomécanique : lois de mise à l'échelle et simulations

Cette séance de cours couvre le concept de bruit thermomécanique dans les micro et nanosystèmes, expliquant comment la masse dans un système mécanique est couplée thermiquement à l'environnement par l'amortissement. Il traite de la densité spectrale des forces fluctuantes, de la fluctuation de position et de l'impact du coefficient d'amortissement sur l'échange d'énergie. La séance de cours explore également les effets de l'agitation thermique sur les systèmes mécaniques, l'accélération minimale détectable dans les accéléromètres et les stratégies d'amélioration de la résolution. En outre, il se penche sur l'étalonnage des encorbellements AFM en utilisant le bruit mécanique-thermique et la mise à l'échelle du facteur de qualité dans les systèmes NEMS, MEMS et macro.