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Cours

MICRO-606: Scaling in MEMS

Résumé

This doctoral class covers the scaling of MEMS devices, including mechanical, thermal, electrostatic, electromagnetic, and microfluidic aspects.

Séances de cours

Enseignant·e·s

Source officielle

https://edu.epfl.ch/coursebook/fr/scaling-in-mems-MICRO-606

Page Moodle

http://go.epfl.ch/MICRO-606

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