Explore les mécanismes de défaillance dans les dispositifs MEMS, y compris le fluage, la fatigue et les défaillances électriques, et discute des stratégies d'atténuation.
Explore la courbe de Paschen, la tension de claquage, la constante de ressort efficace, les densités d'énergie et la stabilisation des actionneurs électrostatiques.
